復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵，是由渦輪分子泵和盤(pán)式牽引泵組合而成，它同時(shí)具有渦輪分子泵分子流時(shí)抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，擴(kuò)展了復(fù)合分子泵的應(yīng)用范圍。 復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng)，由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。