旋片式
真空泵是利用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙,分隔排氣閥和大氣時,即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時,即為干式旋片真空泵。在油封旋片真空泵中,國內習慣上稱皮帶傳動的為旋片真空泵,而把泵與電機直接連接或用聯軸器連接的稱為直聯旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的結構形式和參數不同,泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點是結構較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動,可直接排人大氣,偏心質量較小,維護簡便,雙級泵的極限壓力為6×10-2~l×10-2Pa,一種單級泵可達4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。自1909年蓋德(W.Gaede)發明旋片泵并取得德國專利,1936年又發明氣鎮泵,1941年取得專利以來,旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。60年代末,國際上出現了提高轉速,直聯的小型化趨勢,70年代初出現了直聯系列產品,到80年代初,又推出了改進的系列產品,有多種可供用戶選配的附件,可以保護泵,或保護環境,泵本身結構也有改進而使可靠性提高。