真空齒輪泵是用機械方法，使泵的工作室不斷增大或縮小，當工作室的容積變得最小時，即與真空泵的入氣管連通，于是氣體就進入逐漸變大的工作室空間；當工作室的容積擴大時，即與入氣管分開，使容積閥就打開，把壓縮氣體通過油層排出。泵腔內容積不斷膨脹與壓縮，完成吸氣和排氣過程，使容器內氣體逐漸排出達到需要的真空度。真空泵運行時，隨著泵腔內轉子的旋轉，轉子上兩個縱向槽中的滑片或偏心輪上的滑閥環，緊貼著定子的內壁滑動，轉子、齒輪泵滑片與定子內壁必然依靠油品的潤滑性避免摩擦副材料的擦傷，利用油品隔離大氣，并帶走因摩擦產生的熱量。因此，真空齒輪泵油在泵體內擔負著潤滑、密封、和冷卻的作用。