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Aerotech ABL9000

發(fā)布:北京微納通科技有限公司 2015-04-03 本頁網(wǎng)址： http://www.1991game.com/sell/35110556.html
Aerotech ABL9000

北京微納通科技有限公司

聯(lián)系人：覃獻文

電話：0755-26506007

地址：西鄉(xiāng)固戍地鐵站寶豐大廈7樓

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詳細介紹
1世上{zg}性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅(qū)動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
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