能力

數(shù)值

X, Y方向運(yùn)動(dòng)距離，精度

+/-6mm； 
0.1微米

Z方向精度

+/-0.5微米

Theta; 精度

+/-3°；0.001°

光罩旋轉(zhuǎn)

+/-15°

控制方式

軟件控制，多種工藝參數(shù)可自行設(shè)定

卡盤移動(dòng)控制

電子桿

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預(yù)對(duì)準(zhǔn)能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精對(duì)準(zhǔn)能力

小于1微米

光罩尺寸

{zd0} 14”×14”

適用的樣品尺寸

50 ～ 300mm

光源選擇

近紫外，中紫外和深紫外