HiPace 400
上海伯東銷售維修德國(guó)普發(fā) Pfeiffer HiPace 400, 緊湊設(shè)計(jì), 抽速可達(dá)到 355 l/s 緊湊有力的, 進(jìn)氣法蘭 DN 100, 通過保護(hù)等級(jí) IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 渦輪分子泵 HiPace 400 高抽速和壓縮比, 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境和實(shí)驗(yàn)研究. 通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)保證的安quan性. 渦輪 HiPace 400 可選風(fēng)冷或水冷.
HiPace 400 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證
HiPace 400 技術(shù)參數(shù)
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分子泵型號(hào)
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接口 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar
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極限壓力
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全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s
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啟動(dòng)時(shí)間
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重量
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進(jìn)氣口
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排氣口
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氮?dú)?/strong>
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮?dú)?/strong>
N2
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氮?dú)釴2
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hPa
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氮?dú)釴2
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min
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kg
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HiPace 400
HiPace 400 P
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100
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25
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355
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470
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445
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> 1X1011
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11
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< 1X10–7
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6.5
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2
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11.6 – 17.5
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HiPace P 系列, 因其能抵抗工業(yè)粉塵和微小粒子而廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域
HiPace 400: 廣泛應(yīng)用于各個(gè)真空行業(yè)
鍍膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)涂層
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東客戶一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng).
HiPace 400 尺寸圖：
其他推薦
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 提供復(fù)合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 和共同使用.