http://hakuto.cn.qiyeku.com MOCVD 設備檢漏
上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產企業，近日成功采購6臺http://hakuto.cn.qiyeku.com ASM 340 用于 MOCVD 設備檢漏。
MOCVD 是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很強的物質，因此在設備出廠時必須要考慮密封性，否則一旦有毒物質泄漏，后果不堪設想！

上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產企業應用實例：
MOCVD 需要檢漏位置：所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏，主要檢漏源供給、輸運和尾氣處理系統（例如管路接頭、管道、焊縫等位置）。
根據客戶實際需要，MOCVD 檢漏基本配置：http://hakuto.cn.qiyeku.com +http://hakuto.cn.qiyeku.com 如下圖所示：

MOCVD 檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設備通過波紋軟管連接http://hakuto.cn.qiyeku.com，確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340，進入待機界面；初次啟動時間大約 3min，以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵，先通過 bypass 閥門啟動http://hakuto.cn.qiyeku.com 抽真空，到達一定壓力http://hakuto.cn.qiyeku.com 開始工作，同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣；若有漏，http://hakuto.cn.qiyeku.com馬上報警，顯示該噴射點有漏。
4. 檢測完畢，按下http://hakuto.cn.qiyeku.com待機鍵，放氣、關閉電源，移除連接管路。
 

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