產(chǎn)品說明
平行曝光機(jī)主要用于光刻膠曝光．本系統(tǒng)由光源部份(采用日本平行光曝光燈)、玻璃搬送架、菲林基板自動浮動裝置、玻璃真空吸附平臺、玻璃自動推定位裝置、平臺升降裝置、光源快門控制系統(tǒng)等幾部分組成，玻璃由搬送架進(jìn)入曝光區(qū)域后對位、吸真空、曝光、卸玻璃等動作全部自動完成.
機(jī)臺尺寸 ：W1350mm x L3150mm x H2250mm
電源 ：AC380V 50Hz 12KVA (可選擇)
有效曝光面積 ：22"x26" (可選擇)
冷卻系統(tǒng) ：燈管（冰水冷卻內(nèi)循環(huán)水）臺面（強(qiáng)制氣冷）
曝光控制器 ：智慧型人機(jī)界面及曝光能量控制
基板固定方式 ：真空吸著固定玻璃基板。
曝光間隙調(diào)整 ：自動
特點
（1）LCD智慧型中（英）文能量強(qiáng)度顯示。
（2）曝光臺面采用電磁鎖控制方式，方便精準(zhǔn)。
（3）可能量設(shè)定。
（4）中（英）文版故障異常檢知顯示系統(tǒng)，方便操作使用。
（5）自動控制進(jìn)水量大小，避免冬夏季及使用冰水機(jī)產(chǎn)生問題。
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