濱州致遠真空設備有限公司
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山東分子泵維修_渦輪分子泵維修
分子泵介紹如下:
ZY系類復合分子泵是靠高速運轉的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵,是由渦輪分子泵和盤石牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴展了復合分子泵的應用范圍。
復合分子泵對被抽氣體無選擇性,無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用與電子、冶金、化工、科研及真空技術的各個領域。
脂潤滑分子泵介紹如下:
ZY系列脂潤滑復合分子泵其葉輪采用國內首創的變戳面葉齒、軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,以更高的可靠性實現了泵體的任意角度安裝和無油的高真空環境。
技術數據:ZYFB-600復合分子泵
高空法蘭(mm):150cf/160iso-k
前級管道法蘭(mm):40kf
抽氣速(l/s)(對空氣):600
壓縮比:n2大于10的9次方,h2大于8x10的3次方
極限壓強pa:小于8x10的-8次方/小于5x10的-7次方
電機轉速rpm:24000
振動值:小于等于0.1um
啟動時間min:小于4.5
建議采用的前級泵l/s:4-8
冷卻方式::水冷(風冷)
水冷泵冷卻水溫度℃:小于等于20
風冷泵環境溫度℃:小于等于35
水冷冷卻水流量l/min:1
泵體焙烤溫度℃;小于120
加熱器功率w:小于250
加熱器輸入電壓v:ac220
安裝方向:垂直+-5
泵重量kg:約等于25
技術數據:ZYFB-1200復合分子泵
高空法蘭(mm):200cf/200iso-k
前級管道法蘭(mm):40kf
抽氣速(l/s)(對空氣):1200
壓縮比:n2大于10的9次方,h2大于1x10的4次方
極限壓強pa:小于8x10的-8次方/小于5x10的-7次方
電機轉速rpm:24000
振動值:小于等于0.1um
啟動時間min:小于5
建議采用的前級泵l/s:8-15
冷卻方式::水冷(風冷)
水冷泵冷卻水溫度℃:小于等于20
風冷泵環境溫度℃:小于等于35
水冷冷卻水流量l/min:1
泵體焙烤溫度℃;小于120
加熱器功率w:小于300
加熱器輸入電壓v:ac220
安裝方向:垂直+-5
泵重量kg:約等于29
技術數據:ZYFB-1600復合分子泵
高空法蘭(mm):250cf/2500iso-k
前級管道法蘭(mm):50kf
抽氣速(l/s)(對空氣):1600
壓縮比:n2大于10的9次方,h2大于1x10的4次方
極限壓強pa:小于8x10的-8次方/小于2x10的-7次方
電機轉速rpm:24000
振動值:小于等于0.15um
啟動時間min:小于6
建議采用的前級泵l/s:15
冷卻方式::水冷(風冷)
水冷泵冷卻水溫度℃:小于等于20
風冷泵環境溫度℃:小于等于35
水冷冷卻水流量l/min:1
泵體焙烤溫度℃;小于120
加熱器功率w:小于300
加熱器輸入電壓v:ac220
安裝方向:垂直+-5
泵重量kg:約等于31
ZYFB 渦輪分子泵技術參數表
技術數據:ZYFB-3600復合分子泵
進氣口法蘭:400iso-k
排氣口法蘭:100iso-k
排氣速率l/s(對空氣):3600
壓縮比:n2大于10的8次方,h2大于6x10的2次方
極限壓強pa:小于2x10的-6次方
額定轉速rpm:12600
使用軸承:進口陶瓷軸承
振動值:小于等于0.15um
啟動時間min:小于10
停機時間min:小于20
建議采用的前級泵l/s:30
冷卻方式::水冷
冷卻水溫度℃:小于等于20
冷卻水流量l/min:1
泵體焙烤溫度℃;小于80
環境溫度℃:5-40
安裝方向:垂直+-5
泵重量kg:約等于100
ZY系列脂潤滑分子泵參數表
技術數據 ①ZYFB-650z復合分子泵 ②ZYFB-1300z復合分子泵 ③ZYFB-1800z復合分子泵
高真空法蘭: ①150cf/160iso-k ②200cf/200iso-k ③250cf/250iso-k
前級管道法蘭: ①②40kf/③50kf
保護氣體充氣法蘭(防腐泵)16kf
抽氣速l/s:①650/②1300/③1800
壓縮比:n2大于10的9次方/h2①大于8x10的3次方,②③大于1x10的4次方
極限壓強pa:小于8x10的-8次方/小于5x10的-7次方/小于8x10的-8次方/小于5x10的-7次方/小于8x10的-8次方/小于5x10
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