供應(yīng)青島福潤(rùn)德牌frd-007{gx}節(jié)能高純砷提純爐

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青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

聯(lián)系人：呂小姐

電話：0532-68017157

地址：城陽區(qū)北萬工業(yè)園

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詳細(xì)介紹

高純材料提純?cè)O(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè)，對(duì)材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。主要性能指標(biāo)：
?外型形式：臥式結(jié)構(gòu)，水平爐管
?工作溫度：200℃—1100℃
?恒溫區(qū)長(zhǎng)度：根據(jù)工藝要求
?儀表控溫精度：千分之三高精度
?可通工藝氣體：氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻鍤獾?/span>
?氣體控制方式：MFC或浮子流量計(jì)控制
?報(bào)警系統(tǒng)：氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警
?控制方式：程序控制或工控機(jī)+觸摸屏控制
產(chǎn)品特點(diǎn)：
?采用國(guó)內(nèi)獨(dú)有的開合式設(shè)計(jì)方式；
?工藝降溫速度快；
?生產(chǎn)效率高；
?設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)便

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