低溫等離子體包括大量高能電子，高能電子撞擊氣體分子（如：N2，O2，H2O)后會(huì)產(chǎn)生活性粒子（如：N2*、O和?OH等）；高能電子和活性粒子直接氧化各種有機(jī)廢氣分子，使其迅速形成小分子碎片，最終降解生成CO2和H2O等。低溫等離子體具有去除率高、成本低、設(shè)備適應(yīng)性強(qiáng)、占地面積小、便于操作控制、開停方便等優(yōu)點(diǎn)。

優(yōu)點(diǎn)：
①介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
②反應(yīng)快，不受氣速限制。
③采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問題。
④只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費(fèi)。
⑤設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
⑥氣阻小，工藝成熟。