低溫等離子體包括大量高能電子，高能電子撞擊氣體分子（如：N2，O2，H2O)后會產生活性粒子（如：N2*、O和?OH等）；高能電子和活性粒子直接氧化各種有機廢氣分子，使其迅速形成小分子碎片，最終降解生成CO2和H2O等。低溫等離子體具有去除率高、成本低、設備適應性強、占地面積小、便于操作控制、開停方便等優點。

優點：
①介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
②反應快，不受氣速限制。
③采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。
④只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。
⑤設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
⑥氣阻小，工藝成熟。