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這種情況比較復雜，因為周圍氣體介質即使稍微漏入真空腔內，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質量有決定性的影響。

　　真空器件所使用的機械密封在結構上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當造成的。密封面上的環形溝槽，多數是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環（動環）的裂紋是由于傳動件的振動，橡膠圈的漲大以及石墨環本身的內應力造成的，而結焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫熱油介質中是常見的。

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在理論分析方面，主要基于CFD進行計算機模擬試驗，研究問題集中在T型槽干氣密封端面壓力場分布規律、工作參數、幾何參數對密封性能影響等方面。最終結果皆表明T 型槽能產生較好的流體動壓效果。2009年，Zhu等就工作參數和幾何參數進行了詳細的討論，得到了選擇工作參數和幾何參數的一般原則：槽數應在12～16之間，槽深應在4 ～ 6μm之間，平衡間隙應在0.8 ～ 14 μm 之間。

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真空用機械密封及橡膠

　　真空用機械密封的特點：真空器件比帶壓設備的密封困難。內壓可以促進密封，而在真空密封中，摩擦副的貼合主要靠彈性元件的加載，補償環輔助密封圈必須選用彈性好的材料才能實現密封。

　　真空器件的密封有兩種情況，一種是密封件把充滿液態介質的某一容器與外部真空空間分隔開。