提高加熱爐熱效率的主要措施：

（1）采用{gx}、大能量的燃燒器，提高燃燒質量。

（2）監(jiān)控煙氣中的氧和一氧化碳含量，降低過剩空氣系數(shù)。

（3）增設空氣預熱器或余熱鍋爐，回收煙氣余熱。

（4）對流室采用釘頭管或翅片管，設置自動吹灰器，強化對流式的傳熱過程，使之多吸收熱量。

（5）采用低傳熱系數(shù)的耐火絕熱材料，降低爐壁散熱損失。

（6）加強堵漏，減少漏入爐膛的空氣量。

（7）采用計算機或數(shù)字控制儀進行最.佳燃燒控制。

沉積的均勻性與電極和腔室的設計很有關系。管式PECVD系統(tǒng)由于其石墨舟中間鏤空，因此利用了硅片作為電極的一部分，因此輝光放電的特性就與硅片表面的特性有了一定的關系，比如硅片表面織構化所生成的金子塔{jd0}的狀態(tài)就對等離子體放電產生影響，而目前硅片的電導率的不同也影響到等離子場的均勻性。另外管式PECVD的氣流是從石英管一端引入，這樣也會造成工藝氣體分布的不均勻。

　板式PECVD系統(tǒng)使用了襯底板作為電極，而且采用勻氣的Shower系統(tǒng)，但是由于襯底板在長期加熱后會有稍微的翹曲，從而造成平行板電極間距的不一致，也會造成片間不均勻。另外，等離子體直接法在大面積沉積時會造成由于高頻波長所帶來的附加的不均勻性。

加熱爐為什么要分輻射室和對流室？

答：1)加熱爐的輻射室有兩個作用：一是作燃燒室；二是將燃燒器噴出的火焰、高溫煙氣及爐墻的輻射傳熱通過爐管傳給介質。這種爐子主要是靠輻射室內的輻射傳熱，小部分靠對流室的對流傳熱，這只占整個傳熱的10％左右。

2)對流室的主要作用是：在對流室內的高溫煙氣以對流的方式將熱量傳給爐管內的介質。在對流室內也有很小一部分煙氣及爐墻的輻射傳熱。如果一個加熱爐只有輻射室而無對流室的話，則排煙溫度提高，造成能源浪費，操作費用增加，經濟效益降低，為此，在設計加熱爐時，通常都要設置對流室，以便能充分回收煙氣中的熱量。