滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。

定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。

羅茨真空機組的工作壓力應該滿足真空設備的極限真空及工作壓力要求。通常選擇泵的極限壓力要高于真空設備工作壓力半個到一個數量級。

正確地選擇羅茨真空機組的工作點。羅茨真空機組的正常工作范圍為最/高吸入壓力~極限壓力×5。

真空機組在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 根據實際工況條件選用合適的真空機組配置。  但如要求機組對系統有較強的預抽能力且機組需較長時間地工作在較高壓力時，則選用具有更大的前級泵機組更為適宜。

軸流泵的大流量啟動特性——全開閥啟動

軸流泵在零流量工況時軸功率最/大，為額定軸功率的140%~200%，最/大流量時功率最/小，所以為了啟動電流最/小，軸功率的啟動特性應是大流量啟動（即全開閥啟動）。

混流泵的啟動特征——全開閥啟動

混流泵在零流量工況時軸功率介于上述兩種泵之間，為額定功率的100~130%，所以混流泵的啟動特性也應是上述兩種泵之間，最.好全開閥啟動。