傳感器技術發展的五大趨勢

三是微型化，MEMS傳感器研發異軍突起。隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟，MEMS傳感器將半導體加工工藝（如氧化、光刻、擴散、沉積和蝕刻等）引入傳感器的生產制造，實現了規模化生產，并為傳感器微型化發展提供了重要的技術支撐。近年來，日本、美國、歐盟等在半導體器件、微系統及微觀結構、速度測量、微系統加工方法/設備、麥克風/揚聲器、水平/測距/陀螺儀、光刻制版工藝和材料性質的測定/分析等技術領域取得了重要進展。目前，MEMS傳感器技術研發主要在以下幾個方向：（1）微型化的同時降低功耗；（2）提高精度；（3）實現MEMS傳感器的集成化及智慧化；（4）開發與光學、生物學等技術領域交叉融合的新型傳感器，如MOMES傳感器（與微光學結合）、生物化學傳感器（與生物技術、電化學結合）以及納米傳感器（與納米技術結合）。

傳感器

傳感器的特點bao括：微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化。它是實現自動檢測和自動控制的首要環節。傳感器的存在和發展，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官，讓物體慢慢變得活了起來。通常根據其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。

傳感器的組成

傳感器一般由敏感元件、轉換元件、變換電路和輔助電源四部分組成，如圖1 所示。圖1 傳感器的組成敏感元件直接感受被測量，并輸出與被測量有確定關系的物理量信號；轉換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉換為電信號；變換電路負責對轉換元件輸出的電信號進行放大調制；轉換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。