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廣州帕納光電科技有限公司

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從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),

維修的高級(jí)工程師組成一支技術(shù)實(shí)力雄厚,

充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。

 

 

 

 

 


 


Varian TURBO Pump Controllers V-70常見用于較老款半導(dǎo)體設(shè)備,各類檢測(cè)儀器的小型真空腔體上.

Varian TURBO Pump Controllers V-80

 

旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,氣體分子碰到固定葉片之后再次飛向下一個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片,

最終被彈向排氣口,使得A>B,實(shí)現(xiàn)排氣功能。


分子泵的排氣速度 = 吸氣側(cè)開口面積×11.6×A/B.p

  式中 p——壓強(qiáng)的上升值。



 

 


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陶瓷軸承,脂潤(rùn)滑,無需維護(hù),兩個(gè)軸承都在排氣口端,確保了清潔的真空環(huán)境。

 

 

 

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