Hipace700p
入口法蘭：DN160ISO-K
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葉片的角度大，則排氣速度大，壓縮比小。葉片的角度小，則排氣速度小，壓縮比大。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類的影響，泵的極限壓強可達10-8 Pa，但是對輕分子/原子，排氣速度會有所降低。
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Pfeiffer Hipace300 Turbo Pump德國普發分子泵
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3、裝入爐底料盤中的工件應符合要求，不能過高過大，
以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現象。
