臺州清泉泵業有限公司
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繼2016年
華龍一號首臺國產化主泵泵殼鍛件在中國一重完成之后。2017年4月8日,全球首臺華龍一號——福清五號核反應堆壓力容器在中國一重大連核電石化公司水壓試驗一次成功。這標志著我國完全具備了自主設計、制造三代核電裝備的能力。上海電氣在2016年研制的首臺高溫氣冷堆壓力容器、金屬堆內構件正式發運,同時列入國家能源局重大專項的cap1400堆內構件順利通過預驗收,填補了國內該項領域的空白。無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
一、產品介紹2013年止,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。二、應用干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。三、分類干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設計和目前{zlx}和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其{zh1}一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡
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