光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。光柵移動產生的莫爾條紋與電子電路以及單片機相結合來完成對位移量的自動測量，它具有判別光柵移動方向、預置初值、實現自動定位控制及過限報警、自檢和掉電保護以及溫度誤差修正等功能。

很多客戶不分明光柵尺的精度和分辨率的區別，很多時候所說的1UM,5UM，0.1UM,0.5UM等等都是只分辨率。精度是沒有一個確定值的，因為精度會隨著光柵尺的行程不同誤差大小也不同，還會因環境的變化而有不同的誤差，安裝的平行程度也會影響光柵尺的精度。只有在理想的狀態下才能達到和分辨率一樣的精度。