真空箱真空泵，是抽除密封容器中的氣體從而獲得真空的主要設(shè)備。

旋片式真空泵的極限真空為6X10 -2 Pa抽氣量為30L/S，用于抽除密封容積中的干燥氣體

或含有少量可凝性蒸汽的氣體，用于后者時(shí)，需要使用該泵的氣鎮(zhèn)裝置?？梢杂米髁_茨泵的前級(jí)泵，

適合于中小型的真空冶煉、真空焊接、真空處理、冷凍干燥、電子管、以及半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能，電池板、電子束加工、

電子顯微鏡等現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)方面。缺點(diǎn)：旋片式真空泵只能在環(huán)境溫度5～40°范圍內(nèi)，此種泵對(duì)

于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)的以及含有顆?；覊m的氣

體是不適合的；把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器作輸送泵使用也是不適用的。