日本UNION THS-10 -20 THS-206厚度觀察測量顯微鏡

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詳細介紹

THS-10

非接觸式測厚系統(tǒng)

THS系列是基于光學(xué)式焦點檢測方法的非接觸式厚度/高度/深度測量系統(tǒng)，結(jié)合了頂部和底部兩個顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，并帶有使用分度標的焦點指示器。通過觀察測量點的表面可以測量25mm的厚度。由于采用了光學(xué)系統(tǒng)，操作簡單，并且在對焦條件下可以在監(jiān)視器上看到的對焦指示（目標標記）。

模型	THS-10	THS-20	THS-206	THS-208
測量方法	手動的	汽車
試樣尺寸	4英寸		6英寸	8 英寸
測量區(qū)域	X:100mm Y:100mm		X:150mm Y:150mm	X:200mm Y:200mm
解析度	1微米	0.1微米
重復(fù)性	-	1σ=0.5μm（試塊規(guī)）

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