KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。
通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
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設(shè)備名稱
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小型蒸鍍儀
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控制方式
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7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制
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濺射電源
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直流熱蒸發(fā)電源
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1500W
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輸出電壓電流
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電壓≤12V 電流≤100A
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真空
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機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa
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濺射真空
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≤30Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英腔體φ160mm x 160mm
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樣品臺
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可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
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樣品臺轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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蒸發(fā)坩堝容積
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70-140mm
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
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3ml
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
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≤1600℃
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真空測量
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皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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