磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國 Pfeiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮. ATH 系列磁懸浮擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實(shí)時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時運(yùn)行時也非常安靜. 磁懸浮 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).
Pfeiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3. 更低的振動和噪音
4. 不受限的任意方向安裝
5. 無工藝污染
P
feiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)
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型號
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連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最 高啟動壓強(qiáng)hPa
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極限壓力
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全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進(jìn)氣口
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排氣口
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氮?dú)?br />
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮?dú)?br />
N2
|
氮?dú)釴2
|
hPa
|
氮?dú)釴2
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min
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kg
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ATH 1600 MT
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250
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40
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1,400
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970
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540
|
> 1X108
|
1.7
|
< 6X10–9
|
67
|
6
|
42
|
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ATH 2300 MT
|
250
|
40
|
2,150
|
1,800
|
1,100
|
> 1X108
|
2.9
|
< 6X10–9
|
67
|
8
|
68
|
|
ATH 2800 MT
|
250
|
40
|
2,200
|
2,400
|
1,550
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
|
ATH 3200 MT
|
320
|
40
|
2,800
|
2,500
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
|
|
320
|
40
|
1,950
|
2,050
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
37
|
8
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60
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MT 型號的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時作用, 可以確保泵的工作溫度相對恒定 (最 高工作溫度75°C), 同時盡可能減少化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 運(yùn)行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 提供復(fù)合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 和共同使用.
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