WOQ系統是通過一個聚光鏡激光傳感器，配合由CNC電腦控制的主機，對測量工件進行高速測量。由于聚光鏡激光器的優越性能，基本上不受工件的表面性質影響，包括工件的反光度。可以測量至85度的垂直面，配用不同的規格的物鏡，可以達至不同的測量精度、重復性及測量行程。
WOQ SYSREM Ⅰ
X、Y、Z軸行程：150×150×120mm
分解度 ：0.00625mm
定位精度 ：0.01mm
重復精度 ：2.5um
定位速度 ：4m/min
WOQ SYSTEM Ⅱ
X、Y、Z 軸行程：350×250×120mm
聚光物鏡規格 FL16 FL25 FL50 FL75 FL100 FL125 FL150
精度(um) 2 3 6 10 15 20 25
重復精度(um) 0.1 0.4 1 2 4 8 10
測定行程(mm) 0.5 1.8 8 18 35 45 70
工作距離(mm) 9 15 35 60 70 240 110