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ATH 3204 M,對氮氣的抽速最 高可達 2800 l/s,水冷。外部分子泵驅動電路。可以安裝在任 何方向。CE標志和通過無鉛認證。核心科技是五軸控制全磁浮軸承,免維護,無需潤滑,保證內部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉子的穩定性,在高速運轉過程中無摩擦,無磨損,低噪音低振動,可延長的使用壽命。
ATH 3204 M 多種配置可選 滿足不同需要:
1.兩種密封方式:DN 320 ISO-F/VG 350
2.另有可加熱款(抗腐蝕 ATH 3200 MT)供客戶選擇
ATH 3204 M 技術參數:
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軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
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轉速 |
25000 min-1 |
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對氮氣的壓縮比 |
> 1 · 10 8 |
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最 大進氣壓力N2 |
2.1 hPa |
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對氮氣的抽速 |
2800 l/s |
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啟動時間 |
< 10 min |
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極限真空度 |
< 6 · 10-9 hPa |
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重量 |
85(分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg |
ATH 3204 M 對不同氣體的抽速:
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ATH 3204 M 對不同氣體的抽速:
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