1專為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)）
4{zy1}的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec