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專業供應青島福潤德牌frd-006擴散爐專用爐體

發布:青島福潤德微電子設備有限公司 2016-12-12 本頁網址： http://www.1991game.com/sell/42800480.html
專業供應青島福潤德牌frd-006擴散爐專用爐體

青島福潤德微電子設備有限公司

聯系人：呂小姐

電話：0532-68017157

地址：城陽區北萬工業園

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詳細介紹
可完全代替進口爐體，優質加熱爐絲，進口保溫材料，采用國外先進加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
設備特點： 
可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步
工藝曲線的自動運行控制功能
工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
自動運行中可暫停／繼續運行功能
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
PID參數自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機界面
系統故障自診功能
停電后斷點繼續運行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補償
技術指標：
可配置工藝管外徑2～8英寸
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