抽真空時間過長真空系統或進氣管路讀書或泄露檢查管路是否關閉或泄露，并排除
真空泵油被污染或變質更換真空泵油
排氣過濾器堵塞更換排氣過濾器
進氣過濾器或進氣濾網堵塞清洗或更換進氣過濾器，進氣濾網
吸氣閥被污物卡死清洗吸氣閥和進氣濾網
進氣或排氣管道過長或管徑太小更換符和要求的管道
油管泄漏或損壞擰緊接頭，更換油管或接頭
密封圈或軸封泄漏更換密封圈或軸封
排氣閥損壞或卡死更換或清洗排氣閥
葉片卡死或損壞清洗轉子，葉片或更換葉片
轉子和泵體的間隙不對調整轉子與泵體的間隙
真空泵內部零件損壞維修真空泵
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