油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸氣導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統和噴射噴嘴等部分組成。當油擴散泵用前級泵預抽到低于1帕真空時,油鍋可開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動量，產生和油蒸氣分子運動方向相同的定向流動。到前級，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的。  

中國真空設備制造行業近年來無論是規模、品種還是技術水平都已取得了長足的進步,但整個行業與國外同行業相比,還仍然存在較大差距。

主要表現在：一是企業規模仍然偏小,全國散布著數百家生產企業,其中有很大部分都是在以往國有企業中分散出來的家族式或朋友之間股份合作式小微企業,整體實力偏弱；二是大部分企業研發投入少,沒有設立真正的研發部門,基本處于接單—設計—生產的簡單模式,導致在產品創新等方面遠遠落后于國外同行,產品同質化現象嚴重,高端產品市場基本被國外同行壟斷。

沈陽諾思真空技術有限公司（原沈陽天成真空技術有限責任公司）成立于2012年，是以超高真空技術為基礎、從事各種真空應用設備研發、生產和銷售為一體的技術型企業。

低油泵的熱負載主要是氣體的凝結熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結熱與氣體種類有關，對于80K、133.322帕·升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。