等離子體表面處理技術適用于纖維、聚合物和塑膠等物料,亦可應用于清洗、活化及蝕刻金屬、塑膠與陶瓷材料的表面部份,改變材料表面的物理特征。高能量脈沖式等離子磁控濺射技術,能超越傳統的磁控濺射方法,制作出高質量多于3μm的厚離子鍍層。由于高能量脈沖方式有利增加離子的密度,不但加強鍍層與底材之間的接合力,亦可減低表面粗糙度,在功能性部件上可進一步增強耐磨性能及減少替換次數。在陰極有大量氫氣析出,使陰極表面附近的pH值迅速提高。
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