ATH 500 M，對氮氣的抽速最 高可達 550 l/s，緊湊集成的控制器。可以安裝在任 何方向。CE標志和通過無鉛認證。核心科技是五軸控制全磁浮軸承，免維護，無需潤滑，保證內部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉子的穩定性，在高速運轉過程中無摩擦，無磨損，低噪音低振動，可延長的使用壽命。
ATH 500 M 多種配置可選 滿足不同需要：
1.兩種接口：DN 100/160
2.三種密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
3.兩種冷卻方式：風冷、水冷
4.另有可遠程控制和可加熱款（抗腐蝕MT）供客戶選擇
ATH 500 M 技術參數：
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軸承
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五軸控制全磁浮軸承
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轉速
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50000 min-1
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對氮氣的壓縮比
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> 2 · 107
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最 大進氣壓力N2
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2.6 hPa
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對氮氣的抽速
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350 l/s--550 l/s
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啟動時間
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< 2 min
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極限真空度
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< 1 · 10-8 hPa
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重量
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17 kg-18kg
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ATH 500 M 對不同氣體的抽速：
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ATH 500 M 尺寸圖：
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ATH 500 M 目前在售型號：
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