供應青島青島福潤德牌frd-016全自動太陽能擴散爐

發布:青島福潤德微電子設備有限公司 2016-12-12 本頁網址： http://www.1991game.com/sell/42800506.html

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詳細介紹

太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。
◆工作溫度：300~1300℃
　　◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂制
　　◆恒溫區長度：1080mm（可根據用戶要求定制）
　　◆溫區精度（靜態閉管測試）：
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃
　　◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）：
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h
　　◆溫度斜變能力：
　　{zd0}可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min
　　{zd0}降溫速度（1300～900℃）：5℃/min
　　◆氣體流量設定精度：±2％FS
　　◆氣路系統氣密性：1×10-7PA.m3/s
　　◆自動送料裝置行程：~2000mm
　　速度：5~1000mm/min
　　SiC漿承重 19kg
　　◆裝片數量 400片/管
　　◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
　　◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
　　◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min

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