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專業制造福潤德lpcvd設備

發布:青島福潤德微電子設備有限公司 2016-12-12 本頁網址： http://www.1991game.com/sell/42800551.html
專業制造福潤德lpcvd設備

青島福潤德微電子設備有限公司

聯系人：呂小姐

電話：0532-68017157

地址：城陽區北萬工業園

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詳細介紹

LPCVD 用于淀積Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣泛應用于半導體集成電路、電力、電子、光電子及M等行業的生產工藝中。

■ 設備主要特點

◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力  實現自動控制。                                     
 ◆ 采用進口壓力控制系統,閉環控制,穩定性強。  
 ◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。   
 


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