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電壓、氣壓及工作環境:
電壓:220V,50Hz
氣壓:4~6kg/cm2
消耗功率:2000W
工作環境溫度:20~280C
工作環境濕度:60~80%
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物料處理能力:
可視晶片尺寸:6*6mil~80*80mil
圖像識別系統:黑白二級制或256級灰度
可測產品X Y的尺寸
CCD三組(晶片端,支架端,點膠側向)
支架工作平臺寬度:40~60mm (可選擇一種產品規格)
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固晶系統:
吸嘴表面吸取式
固晶壓力可調范圍:20~250g
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系統能力:
固晶精度:XY±1.5mil(±0.038mm)
晶片偏轉:θ±30
固晶速度:240ms/cycle
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晶圓處理系統:
晶圓工作臺{zd0}行程:150*150mm
晶片盤尺寸:外徑152mm(6")
擴張后{zd0}晶圓尺寸:119mm(4.7")
晶片{zd0}修正角度:±150
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記憶容量:
底板數量:1000
焊點數量:2000
體積和重量:
外形尺寸:L1090mm*W1020mm*H1890mm
重量:680kg
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