中頻熱處理廣泛用于齒輪、軸、曲軸、凸輪、軋輥等工件的表面淬火，目的是提高這些工件的耐磨性和抗疲勞破斷的能力。汽車后半軸采用感應加熱表面淬火，設計載荷下的疲勞循環次數比用調質處理約提高10倍。中頻熱處理表面淬火的工件材料一般為中碳鋼。為適應某些工件的特殊需要，已研制出供感應加熱表面淬火專用的低淬透性鋼。高碳鋼和鑄鐵制造的工件也可采用感應加熱表面淬火。淬冷介質常用水或高分子聚合物水溶液。

真空方法因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近，因此對真空熱處理電爐的自動化程度的要求較高。同時，有些動作,如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六、七個動作并且要在15秒鐘以內完成。這樣敏捷的條件來完成許多動作，很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時按程序協調。