烘箱選型依據及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內的均勻性、 溫控系統也是要求較高。 烘箱的生產廠家國內和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度慮， 則把國內生產的烘箱放在首 位， 因為不論是售后fu務還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產生的顆粒度。

烘箱故障現象描述  

閉合循環烘箱空氣開關，按照該烘箱的操作說明書設置好加熱溫度250℃，超溫報警溫度260℃，保溫計時1h后，啟動其自動運行程序，烘箱的循環風機、進風機、碟閥、加熱等指示燈按順序亮起，表明程序運行正常。加熱運行2.5h后，溫度仍然達不到設定值，如果加熱時間過長，就會造成被加熱玻璃容器易碎，壞瓶率升高。

履帶式烘箱采用zui新變頻技術和熱導熱原理，熱能再生利用從而達到{gx}節能省電的效果。獨特的風道及發熱設計使工作室內具有溫度均勻、效率高、升溫快、自動超溫報警、溫度準確等特點。

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