間接電阻加熱的發熱元件所用材料，一般要求電阻率大、電阻溫度系數小，在高溫下變形小且不易脆化。常用的有鐵鋁合金、鎳鉻合金等金屬材料和碳化硅、二硅化鉬等非金屬材料。金屬發熱元件的高工作溫度，根據材料種類可達1000～1500℃；非金屬發熱元件的工作溫度可達1500～1700℃。后者安裝方便，可熱爐更換，但它工作時需要調壓裝置，壽命比合金發熱元件短，一般用于高溫爐、溫度超過金屬材料發熱元件允許工作溫度的地方和某些特殊場合。
高頻電源通常先用變壓器把三相 380伏的電壓升高到約2萬伏左右的高電壓，然后用閘流管或高壓硅整流元件把工頻交流電整流為直流電，再用電子振蕩管把直流電轉變為高頻率、高電壓的交流電。高頻電源設備的輸出功率有從幾十千瓦到幾百千瓦。感應加熱的物體必須是導體。當高頻交流電流通過導體時，導體產生趨膚效應，即導體表面電流密度大，導體中心電流密度小。
利用在電場作用下高速運動的電子轟擊物體表面，使之被加熱。進行電子束加熱的主要部件是電子束發生器，又稱電子槍。電子槍主要由陰極、聚束極、陽極、電磁透鏡和偏轉線圈等部分組成。陽極接地，陰極接負高位，聚焦束通常和陰極同電位，陰極和陽極之間形成加速電場。由陰極發射的電子，在加速電場作用下加速到很高速度，通過電磁透鏡聚焦，再經偏轉線圈控制，使電子束按一定的方向射向被加熱物體。
