HiPace 80
上海伯東銷售維修德國(guó)普發(fā) Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能. HiPace 80 對(duì)所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè). 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能保證的安全性. HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風(fēng)冷, 多種配件可選滿足廣泛應(yīng)用.
HiPace 80 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證
HiPace 80 技術(shù)參數(shù)
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進(jìn)氣口
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DN 63
ISO-K
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DN 63
CF-F
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DN 40
ISO-KF
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DN 63
ISO-K
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DN 63
CF-F
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DN 40
ISO-KF
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圖片
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分子泵控制器
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型號(hào)
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標(biāo)配
TC 110
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標(biāo)配
TC 110
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標(biāo)配
TC 110
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選配
TCP 350
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選配
TCP 350
|
選配
TCP 350
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抽速
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Ar L/S
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66
|
66
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30
|
66
|
66
|
30
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H2 L/S
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48
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48
|
38
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48
|
48
|
38
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He L/S
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58
|
58
|
41
|
58
|
58
|
41
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N2 L/S
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67
|
67
|
35
|
67
|
67
|
35
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壓縮比
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Ar
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1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
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H2
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
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He
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1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
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N2
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
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全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量
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Ar hPa l/s
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
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H2 hPa l/s
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
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He hPa l/s
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
|
N2 hPa l/s
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
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極限壓力
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hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
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＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
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最 大預(yù)抽真空
|
N2
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
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電壓
± 5 %
|
VDC
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
|
最 大電流
|
A
|
4.6
|
4.6
|
4.6
|
5.5
|
4.6
|
4.6
|
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轉(zhuǎn)速± 2 %
|
RPM
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
|
聲噪
|
dB(A)
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
|
允許最 大磁場(chǎng)
|
mT
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
|
啟動(dòng)時(shí)間
|
min
|
1.7
|
1.7
|
1.7
|
3
|
3
|
3
|
|
重量
|
kg
|
2.4
|
3.8
|
2.4
|
2.1
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3.5
|
2.1
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* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
Pfeiffer HiPace 80 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺(tái) HiPace 80 分子泵主機(jī)和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
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分子泵
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分子泵電源與控制器連接線
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風(fēng)扇
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OmniControl 200
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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.jpg)
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
上海伯東客戶一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng).
上海伯東客戶二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備
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上海伯東客戶三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體
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HiPace 80 目前在售型號(hào)：
其他推薦
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 提供復(fù)合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 和共同使用.