HiPace 2800 IT
上海伯東德國 Pfeiffer 適用于離子注入系統的 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款精巧的轉子設計保證小分子氣體的更大抽速, 確保了針對離子注入工藝的適應性, HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.
HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統, 減少泵系統內部的工藝冷凝和沉積, 該系統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.
HiPace® 2800 IT 產品優勢
1. 氫氣抽速高達 2600 l / s
2. 鍍鎳轉子更耐用
3. 采用智能溫度管理系統,能自適應工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
4. 使用壽命更長
HiPace® 2800 IT 技術參數
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法蘭（進氣端）
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DN 250 ISO-F
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法蘭（出氣端）
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DN 40 ISO-KF
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排氣連接
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G 1/8“
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氮氣抽速
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2,300 l/s
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氬氣抽速
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2,100 l/s
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氦氣抽速
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2,900 l/s
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氫氣抽速
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2,600 l/s
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轉速
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±2 % 27,300 rpm
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運行時間
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8.6 min
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在全轉速情況下的氮氣氣流量
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16 hPa l/s
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在全轉速情況下的氬氣氣流量
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11 hPa l/s
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在全轉速情況下的氫氣氣流量
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50 hPa l/s
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在全轉速情況下的氦氣氣流量
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24 hPa l/s
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氮氣壓縮比
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> 1X108
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氬氣壓縮比
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> 1X108
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氦氣壓縮比
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6X104
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氫氣壓縮比
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4X103
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氮氣最 大前級真空
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0.8 hPa
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根據 PNEUROP 的極限壓力
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< 1X10-7 hPa
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重量
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62 kg
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冷卻方法
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水
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冷卻水耗量
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100 l/h
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冷卻水溫度
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15 – 25 °C
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接口
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E74, RS-485
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最 大允許磁場
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3.4 mT
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聲壓水平
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< 50 dB(A)
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HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
HiPace® 2800 IT尺寸
HiPace® 2800 IT 在售型號
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型號
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訂貨號
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HiPace 2800 IT
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PM P05 241
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HiPace 2800 IUT
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PM P05 246
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